紫外激光清洗使用精密器件的介绍

用于激光微细加工的紫外激光器主要有准分子激光器和全固态激光器。紫外激光波长短，单光子能量高，能够直接打断材料间连接的化学键，材料以气态或微粒的形式被剥离表面，加工过程中产生的热影响区小，在微细制造中具有独特优势，如 Si、GaN 等半导体材料，石英、蓝宝石等光学晶体，以及聚酰亚胺(PI)、聚碳酸酯(PC)等高聚物材料，能够有效提高制造品质。

紫外激光被认为是精密电子领域最佳的激光清洗方案，其最有特点的精细“冷”加工技术在不改变物体物理性质的同时，对表面进行微加工和处理，能广泛应用于通讯、光学、军事、刑侦、医疗等各个行业和领域。例如，5G 时代催生了 FPC 加工市场需求。紫外激光机的应用让 FPC 等材料的精密冷加工成为可能。

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